TribobLab CMPは前身製品（Bruker CP-4）の20年以上にわたるCMP分野の専門知識を利用して、業界に優れたTribobLabプラットフォームに完全な機能をもたらした。本装置に基づいて生成された高精度かつ高再現性により、CMPプロセス全体にわたって効率的な鑑別、検査、および連続機能テストを行うことができる。TriboLab CMPは市場で唯一、広範な研磨圧力（0.05-50 psi）、速度（1 ~ 500 rpm）、摩擦、音響放出、表面温度測定を提供できる技術開発ツールであり、CMPプロセスと消耗品を正確、完全に記述することができる。

CMP用の小規模な開発規模の専門システム

ブルックのTriboLab CMPプロセスと材料特性評価システムは、ウェハ研磨プロセスのために設計され、信頼性があり、柔軟で効率的なデスクトップデバイスです。

• フルサイズウエハ研磨プロセス条件を再現し、生産設備上の停止を必要としない
• ****の測定再現性と詳細な検出を提供する
• 小サンプルでのテストを可能にし、全ウェハテストよりも大幅なコスト削減

オンボード診断システムは研磨プロセスをよりよく理解することができます

• 市場の他のシステムよりも多くの過渡研磨プロセスのパラメータを提供する
• ディスクへの接触からテストプロセス全体にわたってデータを収集
• より完全で詳細なデータによる早期プロセス開発の意思決定

柔軟なサンプルタイプ、サイズ、インストール構成

• 任意の平面材料を研磨し、ほとんど任意の修正ディスク、任意の研磨液、および任意の研磨パッドを使用することができます
• 100 mm以下の小サイズウエハを手軽に使用
• 複数のサンプルを同時にインストールでき、より柔軟なテストが可能